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大族激光近期在接受機構(gòu)調(diào)研時表示,目前,公司光刻機項目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域,分辨率3-5μm;其中,接近式光刻機已投入市場,步進式光刻機已啟動用戶優(yōu)化,公司將根據(jù)市場需求及業(yè)務(wù)發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計劃,并加大研發(fā)核心部件國產(chǎn)化。公司激光設(shè)備在薄膜電池領(lǐng)域國內(nèi)市占率一直位于市場前列,在鈣鈦礦電池行業(yè)幾家龍頭、前沿研究機構(gòu)均取得激光設(shè)備的交付銷售,及大尺寸激光加工設(shè)備的整線交付。公司在TOPCON領(lǐng)域產(chǎn)品布局完整,逐步具備TOPCON電池全產(chǎn)業(yè)鏈設(shè)備研發(fā)制造能力;在HJT電池已布局PECVD、PVD等設(shè)備產(chǎn)品。公司現(xiàn)有研發(fā)項目包括低壓硼擴散爐、Topcon激光摻硼設(shè)備、LPCVD設(shè)備等,低壓硼擴散爐、Topcon激光摻硼設(shè)備處于客戶驗證階段。
(文章來源:界面新聞)
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